1 概述国内多晶硅生产工艺中，冷氢化工段会不可避免的产生氯硅烷渣浆，渣浆成分复杂，主要是以四氯化硅为主的氯硅烷液相和硅粉为主的固相，并夹杂双硅至四硅硅油、氯化铝及氯化铁等金属氯化物。目前国内大部分企业的渣浆处理系统均采用旋转真空干燥对氯硅烷渣浆先进行闪蒸，回收部分四氯化硅，然后对剩余残液水解，得到无害固体，产生的废水进入废水处理。但是由于高沸物、硅粉及金属氯化物的存在，若四氯化硅蒸出过多，残液粘度会很高，剩余残液非常容易堵塞设备及管道，并在容器内壁结垢，降低传热，加剧堵塞及结垢。因此，国内传统的做法是仅对渣浆中的部分四氯化硅回收（回收率一般在60～70%），以保持残液流动性，这样会将30～40%四氯化硅扔掉，也会增加水解所需碱液的成本，加剧水解操作风险及恶化操作环境，渣浆处理已经成为制约多晶硅发展的瓶颈之一。为了解决上述问题，石家庄威廉希尔WilliamHill机械设备有限公司利用其技术优势，与有关公司合作，研究开发了采用过滤技术代替蒸发的处理工艺，彻底解决了目前困扰多晶硅企业渣浆处理的技术难题。其主要优势有以下两点：1、四氯化硅回收率大大提高采用蒸发工艺，四氯化硅回收率能达75%，（一般在65%左右）再提高，就会造成排渣困难和管道堵塞。而采过滤工艺，回收率可达95%以上，回收率提高20～30%以上，其经济效益非常可观。2、大大降低了废渣处理的风险，降低了处理成本 采用蒸发工艺，废渣中液相含量很高，既需要加大中和碱和水的投放量，又增加了水解的风险。而采用过滤工艺，滤渣（过滤出来的硅粉）中的含液量很低(仅2～4%)，既降低了中和碱和水的投放量，